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回顾【双面蚀刻机】的发展史

时间:2015-10-9 点击:974次

回顾【双面蚀刻机】的发展史
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回顾蚀刻设备的发展,更早仅是一个蚀刻液槽或缸,存放了蚀刻液,覆铜板挂浸在里面溶液中去除未保护的铜; 后又使蚀刻液搅动或板子摆动,稍微提高蚀刻速度。此后,在蚀刻液槽中间有一根喷管,板子竖直放于槽体周围,喷管旋转的离心力把溶液飞溅于板面上实现蚀刻铜。由于板子固定放置于槽内,人工放板与取板效率低,且劳动强度大。这种条件下加工的板子线条宽度/间距在0.5mm以上。
  后来采用水平传送板子,泵输送溶液至喷管喷淋溶液,初期还没有用到喷嘴,仅采用塑料管上开小孔或缝隙喷淋出的溶液,压力较小。以后进一步发展成采用喷嘴与摆动结构。
  水平传送承载板子的载体曾是采用塑料编织网带,由蚀刻机两头辊轮转动带动塑料网的移动,板子放在网上后不动的。这种网带传送的好处,适合各种尺寸(长、宽与板厚)板子及挠性板的蚀刻,其缺点是只能单面蚀刻,双面板要经翻板二次蚀刻。为能双面同时蚀刻,改为滚轮传送,这样板子随着滚轮前进,上下都有空隙可喷淋溶液于板面。装载滚轮的辊轴转动,有靠链条带动或齿轮带动,相对而言齿轮传动平稳可靠。因为传送滚轮之间有间隙,会使小尺寸板及柔软的板不能传送,这就要考虑滚轮的密度,或附加“过桥”,使得小尺寸板与挠性板也能传送,已有设备称能传送更薄25μm的薄片。
  曾有垂直式传送蚀刻机,板子垂直挂吊于夹具上进入蚀刻机内,在蚀刻室两侧溶液喷淋板面。由于蚀刻设备复杂和没有体现优良的蚀刻效果,因此没被发展。现在主流是水平传送喷淋式蚀刻机。
双面蚀刻机,显影机,标牌蚀刻机
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